Датчики слабких магнітних полів і MEMS-комутатори
Анотація
Проведено огляд сучасних датчиків для вимірювання слабких постійних і повільно змінних магнітних полів показує, що за сукупністю розглянутих характеристик ферозондові перетворювачі і магнітометри на їх основі є найбільш переважними для вимірювання слабких постійних магнітних полів і використання в складі систем орієнтації, стабілізації, навігації, в комплексах для пошуку феромагнітних об'єктів. Описано новий клас приладів – мікромеханічного комутаційного елемента, керованого зовнішнім магнітним полем, виготовленого за MEMS-технологією. Детально представлена конструкція приладу, принцип роботи, особливості управління та використання його в різних датчиках положення. Представлені дані показують, що магнітокерований MEMS-комутатор є малогабаритним перспективним приладом, який поєднує переваги функціональних аналогів – герконів і датчиків Холла.
Опис
Ключові слова
датчики магнітних полів, MEMS-технології
Бібліографічний опис
Цінг Жао. Датчики слабких магнітних полів і MEMS-комутатори / Цінг Жао // Управління розвитком складних систем : зб. наук. праць / Київ. нац. ун-т буд-ва і архітектури ; гол. ред. Лізунов П. П. – Київ : КНУБА, 2019. – № 37. – С. 219-226. - Бібліогр. : 27 назв.