Датчики слабких магнітних полів і MEMS-комутатори

Abstract

Проведено огляд сучасних датчиків для вимірювання слабких постійних і повільно змінних магнітних полів показує, що за сукупністю розглянутих характеристик ферозондові перетворювачі і магнітометри на їх основі є найбільш переважними для вимірювання слабких постійних магнітних полів і використання в складі систем орієнтації, стабілізації, навігації, в комплексах для пошуку феромагнітних об'єктів. Описано новий клас приладів – мікромеханічного комутаційного елемента, керованого зовнішнім магнітним полем, виготовленого за MEMS-технологією. Детально представлена конструкція приладу, принцип роботи, особливості управління та використання його в різних датчиках положення. Представлені дані показують, що магнітокерований MEMS-комутатор є малогабаритним перспективним приладом, який поєднує переваги функціональних аналогів – герконів і датчиків Холла.